科院还在使用。另外一台是哪家单位弄去了？”为了转移话题，云非干脆把华清的注意力转移到中科院八十年代弄出来的大型高能粒子注入机上面。
当时国际上一台大型高能粒子注入机的国际市场价格超过三十万美元，这是半导体电子工业必须的装备。而中国最为欠缺的就是电子工业。
几乎也是采用攻关的模式，耗费了数千万的资金，弄出来了两台粒子注入机。
一台还在中科院，这些年不停地改进，依然还在使用，而另外一台不知道下落了。
跟菲利普之间的合作，一开始就是因为大型高能离子注入机这些国内根本就无法提供的先进装备而开始的。
云非他们自己仿制出来的粒子注入机并不能够达到他们的要求。新一轮的八英寸100纳米的大角度高能粒子注入机在蓉城光刻研究所的研究进度并不是太过理想。
这个事情交给中科院去负责，或许更加容易。
就是不知道中科院这边的技术是不是比蓉城的更好。毕竟蓉城光刻研究所那边有着他们生产使用的进口设备进行仿制，然后升级。
“那个工艺太过落后了。用于小批量实验性的集成电路生产还没有什么问题，但是如果你想要用于你们九鑫时代的大规模制造，估计有点困难。”云非刚刚说出来，华清就知道了云非的目的。
云非跟菲利普公司闹腾的那么厉害，也都没有翻脸，最终也是因为国内的装备生产工艺以及技术不行。
“八英寸100纳米大角度粒子注入机，你们的研究进度怎么样了？”云非现在不指望65纳米，更加不指望32纳米以及22纳米生产工艺的粒子注入机。
1351 给中科院的作业（4/6）(5/6)